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光譜儀的定量分析中的誤差來源是多種多樣的，但是可以通過計算機的軟件在測量數據進行正式處理之前，進行預處理。

對數據分別進行處理，首先要將各元素的數據分離開來，另外，為提高和改善數據的質量，節約處理數據的時間，也需要對各元素的數據進行適當的加工,所有這一切都是數據預處理承擔任務，其中主要內容包括：元素通道光電流的積分電壓的分路,數據編輯,數據的模/數轉換，數據格式的轉換，去除電平漂移,去除或提取趨勢項，平滑濾波器等。

對光電直讀光譜儀而言，這些項目的預處理并不是所有數據處理過程都需要，它是根據具體情況進行取舍，下面介紹兩種對光譜儀的定量分析減少誤差有用的方法。

直讀光譜儀軟件數據計算預處理

去除測量數據中的電平漂移

在數據采集系統中，由于應用了大量的電子器件，這些器件大多數對溫度比較敏感，其工作特性也隨溫度變化而變化。反映在輸出上，是使輸出零電平隨溫度變化而有緩慢的漂移。這種電平漂移必定會疊加到測量的數據上，從而導致測量誤差的增加。為了提高處理的精度，通常采用試驗性均值來檢拾電平漂移。

由于溫度變化是一個非常緩慢的量，一般來說，它比要測量的物理量的變化緩慢得多。因而幾乎可以看成是一個直流分量。只要每隔一定時間，對系統的零電平進行采樣，然后在某一段時間區間， 將這些采樣值取平均，得到的平均值就可以作為這一段時間區間的輸出零電平漂移值。被測各點數據值減去此平均值，就可得到受漂移影響很小的數據值，從而使數據基本上去除了所包含的電平漂移分量。

檢拾測量數據中的奇異項

測量數據在傳輸過程中，由于有強干擾或意外情況，有可能丟掉數據點或出現有較大誤差的數據點。在數據處理時，這些錯誤的數據點便混在大量正確數據之中,作為正確數據而出現。但是，這些點的數據并不真正代表被測光強值的實際值，而是在測量過程中偶爾出現的壞點。我們稱這種數據點為奇異項。

這些奇異項的存在，會使數據處理誤差大大增加。例如，我們想求某一被測光強值的平均值。它們從4到t4時刻的取值分別為10、12、 12、 14。 其平均值應為12。如果其中一項 l3時刻的取值由于某種原因丟掉了，也就是說，出現了奇異項。那么, 4個點的平均值就由12降至為9。這個均值誤差是由奇異項引起的。為了盡可能減小數據處理誤差，在數據處理以前，我們要把這些奇異項檢拾起來，同時在該點位置上補上-一個合適的值。

眾所周知，任何一個物理量的變化總是從大到小或從小到大平滑地變化的。例如，溫度的上升和下降。它不可能在前一小時刻為100度，而在很短的后一個時刻就突變為0度,以后又隨之變成100度。也就是說，任何物理量的變化有它本身的連續性。