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X熒光光譜儀的原理

發布時間:2018-06-22 14:02:20         點擊:10619

       X射線是一種電磁波,波長比紫外線還要短,為0.001- 10nm左右。X射線照射到物質上面以后,從物質上主要可以觀測到以下三種X射線。熒光X射線、散射X射線、透過X射線,Atomray CX-5500產品使用的是通過對第一種熒光X射線的測定,從物質中獲取元素信息(成分和膜厚)的熒光X射線法原理。物質受到X射線的照射時,發生元素所固有的X射線(固有X射線或者特征X射線)。熒光X射線裝置就是通過對該X射線的檢測而獲取元素信息。

產生K系和L系輻射示意圖

產生K系和L系輻射示意圖

       原理:高能粒子(電子或連續X射線等)與靶材料碰撞時,將靶原子內層電子(如K,L,M等層)逐出成為光電子,原子便出現一個空穴,此時原子處于激發態,隨即較外層電子立即躍遷到能量較低的內層空軌道上,填補空穴位。若此時以X射線的形式輻射多余能量,便是特征X射線。當K層電子被逐出后,所有外層電子都可能跳回到K層空穴便形成K系特征X射線。由L,M,N…層躍遷到K層的X光分別為Kα,Kβ,Kγ…輻射。同樣地,逐出L或M層電子后將有相應的L系或M系特征X射線:Lα,Lβ…;Mα,Mβ…。Kα,Kβ輻射的波長λ是特征的,它取決于K,L,M電子能層的能量: 可以看出,不同元素由于原子結構不同,各電子層的能量不同,所以它們的特征X射線波長也就各不相同。通常人們將X光管所產生的X射線稱為初級X射線。以初級X射線為激發光源照射試樣,激發態試樣所釋放的能量不為原子內部吸收而以輻射形式發出次級X射線,這便是X射線熒光由于各種元素發射具有特定波長(或能量)的標識X射線,可利用鋰漂移、硅半導體等不同探測器及能譜分析儀來確定元素的種類。而標識譜線強度可用來確定元素含量。

熒光X射線及俄歇電子產生過程示意圖

熒光X射線及俄歇電子產生過程示意圖

 

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